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  • 型   號:UTA-IA
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UTA係列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結合的縮小投影型無掩模曝光係統,其*傳統係統(用於掩膜光刻的圖案投影曝光係統) 可以使用專門為此目的開發的軟件來創建想要的圖案

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 草莓视频黄色污下载機裝置概述

  • 顯微鏡LED曝光單元UTA係列是不需要掩模的用於光刻的圖案投影曝光裝置。

  • 使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀,將具有機微米分辨率的任意圖案投影到塗有抗蝕劑的基板上進行曝光。

  • 圖案可以在PC上自由創建。

  • 因為可以在普通的室內環境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極,所以它比電子束光刻便宜且簡單,不需要製造昂貴的電極圖案掩膜。


顯      草莓视频黄色污下载機的應用

  • 薄膜FET和霍爾效應測量樣品的電極形成。

  • 從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成並評估其特性。

  • 研發應用的圖案形成。


  草莓视频黄色污下载機參數

  • 由於顯微鏡和DLP的結合,可以用很低的成本來構建係統

  • 易於使用的軟件可以輕鬆的創建曝光圖案

  • 通過物鏡放大倍率圖案,可以進行大範圍的批量曝光

  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項)

  • 分辨率在微米級

  • 曝光範圍:大2.5mm×1.5mm    小100um×60um

  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項)

  • 分辨率在微米級

  • 曝光範圍:大2.5mm×1.5mm    小100um×60um


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